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因具有摩擦小、精度高、无污染、寿命长等优点,气体轴承被广泛应用于微电子制造和超精密定位设备中,而随着下一代光刻曝光、激光干涉测量和半导体检测技术的发展,超精密运动定位不仅要求定位精度更高,还要求必须在真空或超洁净环境中进行,但真空环境下静压气体轴承性能与大气环境下相比较变化显著。目前对于真空条件下静压气体轴承润滑理论的研究比较少,而且多以单一的连续流为基础,未考虑过渡流和分子流对轴承内部流场的影响。针对此问题,本文以单供气孔应用于真空环境的盘型静压止推轴承作为研究对象,对真空环境下轴承的气体内流场进