柔性力敏薄膜传感器因其制造过程简单、成本低、灵活性强、集成潜力大等优点,被广泛应用于可穿戴设备、电子皮肤、人机交互方面等领域。压磁型力敏薄膜传感器是目前传感器领域研究的热点,对于压磁型柔性力敏薄膜传感器而言,磁性薄膜作为敏感元件是实现传感高性能的关键。铁基非晶态合金薄膜具有优异的压磁特性和压磁稳定性,在压磁传感器的发展上具有广阔的应用前景。本文以FeSiB非晶合金柔性力敏薄膜为研究对象,设计并制备了一种双层结构的柔性力敏复合薄膜,采用电感式测量方法研究了薄膜在σ≤0.2 MPa时的力敏特性,探讨了应力敏感机制和不同条件下力敏薄膜的压磁性能。复合薄膜具有复杂的力敏机制,修正了力敏曲线起始阶段的波动,提高了起始阶段的力敏稳定性;相比于单一的FeSiB非晶态合金薄膜,复合薄膜的力敏敏感度显著提高;当复合薄膜的厚度为200μm～230μm时,薄膜在0～0.1 MPa压应力区间内具有优异的力敏性能。当复合薄膜厚度为200μm和测试频率f=1 KHz时,复合薄膜的灵敏度为0.27μH/KPa,敏感区间内力敏曲线为近似线性变化;当复合薄膜厚度为230μm和测试频率1 KHz时,灵敏度0.59μH/KPa,敏感区间内力敏曲线为近似线性变化。通过稀土元素Y对FeSiB非晶合金薄膜进行了成分改造,利用其来调节薄膜的饱和磁致伸缩系数,调控FeSiB非晶合金薄膜的压磁效应。单层FeSiBY薄膜在微应力区间0～1.2 KPa内呈线性变化,灵敏度高达88.87μH/KPa,远优于FeSiB非晶合金薄膜（0.2μH/KPa）。通过FeSiBY薄膜的叠加拓宽了传感器的压磁效应线性范围,由4层薄膜叠加后的传感器,其压磁曲线的线性范围上限值达到16 KPa,灵敏度仍然达到6.84μH/KPa。在压磁曲线线性变化区,FeSiBY薄膜的加载压磁曲线与卸载压磁曲线吻合度高,没有弹性滞后现象,同时,环境温度对压磁曲线影响小。利用研究的压磁式FeSiBY柔性力敏薄膜传感器,成功地演示了该型传感器在细微手指压力、脉搏、空气运动和声带检测中的应用,凸显出了其在实时监测方面的潜力,为开发高灵敏、高稳定、适用于批量制造的新型柔性力敏薄膜传感器提供选择。