射频MEMS器件与MEMS系统由于能够满足空中通信领域中轻型化、高可靠及低成本的需求,并且具有加强系统稳定性和减少功耗方面的优势,因此在空中通信设备的应用中具有独特的竞争力。但是,随着MEMS器件与MEMS系统得到广泛应用,电磁干扰(EMI)问题也日益突出,如何通过电磁屏蔽分析设计提高MEMS器件与MEMS系统的屏蔽效能(SE)在MEMS技术的发展过程中显得尤为重要。在某预研项目中,要求设计L/C/X频段MEMS天线系统。系统采用了一些MEMS器件,其中RF MEMS开关在工作过程中产生的电磁辐射会干扰系统内部的其它器件与周围电路;整机系统对外的辐射干扰会影响其它机载设备的正常工作。因此,有必要对RF MEMS开关与MEMS系统进行电磁屏蔽分析,而目前还没有查阅到文献在这方面进行过研究。本文首先介绍了L/C/X频段MEMS天线系统的总体设计,通过分析系统的电磁环境找出了系统5个主要干扰源:机载MEMS天线、开关电源、印制电路板、RF MEMS开关、整机系统。通过分析各个干扰源产生干扰的原因及抑制的方法,确定了以RF MEMS开关与整机系统作为本文电磁屏蔽研究的重点对象。随后分析了DC接触式MEMS串联开关和电容式MEMS并联开关的电磁模型与电磁辐射情况,发现DC接触式MEMS串联开关在其适用频段产生的电磁辐射很微弱,功率仅为0.01W,其干扰影响可以忽略;而电容式MEMS并联开关在开关放电阶段会向四周辐射最大电场强度为1.5×10~3V /M的电磁波,需要进行电磁屏蔽。通过对电磁材料的选择对其进行电磁屏蔽设计,并通过仿真验证了屏蔽效果,其屏蔽效能超过了60dB。最后对整机系统对外的辐射干扰进行预测,发现其干扰余量大于零,会对外产生辐射干扰,需要进行电磁屏蔽。在考查了多种轻质、宽频的电磁屏蔽材料后,确定碳纳米管屏蔽涂料能满足系统轻型化、L/C/X频段的需求。对机箱进行屏蔽结构设计,计算出了缝隙与通风孔洞的尺寸要求。通过仿真验证了机箱的屏蔽效果,其屏蔽效能达到了30dB以上,满足工程需求。