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M型六角钡铁氧体材料BaFe12O19(BaM)由于具有高的电阻率、大的高频磁导率、强的单轴磁晶各向异性和稳定的物理、化学性质等特点倍受关注,它在单片微波集成电路(MMIC)、高密度垂直磁记录介质等方面都有着广泛的应用。这些应用的实现都要求获得结晶性良好、高度c轴取向、剩磁比大(MS/Mr>0.9)的钡铁氧体厚膜(>10μm)。然而制备这样的厚膜在实际工艺中和理论研究中均有一定的困难。本论文首先从研究BaM薄膜在蓝宝石衬底上的c轴生长过程出发,运用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(S