该文第一部分介绍有关的基本概念与原理及相应的实验技术,如波导的线光学理论,反射计算算法(RCM),棱镜耦合法,卢瑟福背散射/沟道测量,波导损耗的测量方法等.第二部分以质子交换铌酸锂与钽酸锂波导的性质做了一些研究.用卢瑟福背散射/沟道技术分析了质子交换铌酸锂波导的晶格畸变,首次得出了铌原子的位移分布,发现在X切样品中的铌原子的位移程度大于Z切样品,X切样品的位移分布较均匀,对样品退火后,晶格畸变减小.用棱镜耦合法测量了钽酸锂波导,发现在波导中存在干涉现象,用光纤扫描法测量波导损耗为0.7dB/cm,用卢瑟福背散射/沟道技术分析了晶格畸变.第三部分介绍了H离子注入和Ni离子铌酸锂形成光学位垒型波导的研究.用RCM方法拟合了铌酸锂波导的折射率分布,研究了退火对折射率发布的影响,并用卢瑟福背散射/沟道技术测量了波导区的损伤.发现在较高剂量(9×10<14>ions/cm<2>)的Ni离子入的波导层,晶格有较大的损伤.第四部分介绍了低剂量重离子注入铌酸锂形成折射率增高型波导的研究,这一部分的工作在国际上未见其他报道.