半导体泵浦532nm激光器已经越来越广泛地应用于材料加工、医疗和军事等领域,其工作的稳定性和可靠性在系统应用中起着关键作用。但是半导体泵浦532nm激光器的性能受温度的影响很大,因此其热问题一直是人们关注的焦点之一。特别是近年来,半导体泵浦532nm激光器的发展趋势向小型化,高功率的方向发展,其对传热特性与温度控制技术提出了新的要求。本文首先简单回顾了半导体泵浦532nm激光器的发展和应用,介绍了半导体泵浦532nm激光器的温度特性,阐述了温控对于半导体泵浦532nm激光器的重要性和目前半导体激光器的主要温控手段。介绍了目前半导体泵浦532nm激光器的市场状况,回顾了有限元方法在半导体激光器传热特性研究中的应用情况。其次,叙述了热电制冷的原理以及热电制冷在设计中具体应用,建立了热电制冷的半导体泵浦532nm激光器控温部分的数学模型,然后在半导体泵浦532nm激光器控温部分的设计中,通过引入有限元分析(FEM)的方法,使用ANSYS有限元分析软件,通过稳态热模拟和瞬态热模拟对控温部分结构进行热分析,并且在数学模型的指导下对结构进行了优化和热分析。研究结果表明:在同样的制冷量输入下,优化后控温部分的稳态控温能力提高了8%左右,瞬态的作用时间提高了33%,较初始结构有明显改善。最后,根据优化后的结构制作了实验装置,并且对实验装置的控温能力进行了测试。通过对比实验测试数据和ANSYS热模拟的数据,确认相互之间的误差约在10%左右;结果表明,有限元分析的应用在改善热电制冷的半导体泵浦532nm激光器控温部分性能有明显的效果,有助于缩短产品的开发周期、提高产品性能、降低研发成本、提高客户满意度。