自1880年居里兄弟发现晶体的压电效应以来,压电器件已在水声、超声、传感技术等领域取得了广泛的应用。随着科学技术的发展,航空航天、医疗器械等新技术领域对压电器件的要求也越来越高。特别是在医疗超声传感器技术中,作为核心部分的压电陶瓷(PZT),由于具有非常强和非常稳定的压电效应,受到越来越多的重视。压电陶瓷材料虽然具有其他材料无法比拟的优越性能,但是它也有自己最显著的缺点、即脆性;同时它还存在加工极困难,很难象普通材料一样对陶瓷进行机械加工。要实现压电陶瓷所具备的优异性能,就必须加工成具有一定形状精度和尺寸精度的元件,因此,研究压电陶瓷的加工技术,特别是精密、超精密加工技术具有重大的应用价值,有很大的现实意义。本文采用了特制超薄金刚石锯片砂轮,使用超精密磨削机床对压电陶瓷片进行磨削加工实验研究,运用正交实验常用的数据分析方法---直观分析法,对加工后的工件表面粗糙度和砂轮磨损状况进行了分析,得出如下结论:①磨削参数的变化直接影响加工表面的表面质量,选择合理的磨削参数可以得到高质量的加工表面。②对实验中使用过的砂轮进行分析得知,磨削参数的变化对砂轮片的磨损有限,砂轮的磨损主要由材料中的结晶体参数及磨削次数决定。③利用试验结果推导出了压电材料磨削表面粗糙度预测模型,并进行仿真研究,经过对仿真数据和实验数据的对比分析,验证了表面粗糙度预测模型的正确性。