【摘 要】
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静电放电,ESD (Electro-Static discharge),是在我们的日常生活比较常见的自然现象,而对于普通IC来讲ESD是致命的危害。电子工业每年花在这上面的费用有数十亿美元之多。所以
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静电放电,ESD (Electro-Static discharge),是在我们的日常生活比较常见的自然现象,而对于普通IC来讲ESD是致命的危害。电子工业每年花在这上面的费用有数十亿美元之多。所以ESD现象越来越引起电子工程师们的重视,越来越多的保护器件和保护电路被开发出来,同时电子工程师与半导体工程师也更急需要研制出新型有效的ESD保护器件。本论文首次探索使用静电感应晶闸管(SITH)作为ESD保护器件。基于器件物理分析,自行编制了SITH对ESD应力作用动态响应过程的模拟程序,给出了SITH在ESD过程中的各参数(电压、电流、载流子、温度、产生率)的变化及其规律；研究了不同结构的SITH对ESD过程的响应特征；利用自行搭建的ESD信号发生和测试装置做了实验测试与分析。通过器件结构上的优化得到了以下结果：1、SITH在传输线脉冲模型(TLP)电流作用下所得到的器件的电压分布的变化与温度分布的变化；2、关键的结构参数(栅源间距)对SITH ESD表现的影响。本论文所取得的结果,作为基于新结构、新机制ESD保护器件研制的一项探索,可为新型的ESD保护器件的研制工作提供理论指导。
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