磁控溅射制备MnGa薄膜及其磁特性研究

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【摘要】

：

MnGa薄膜由于具有大的单轴磁晶各向异性能、高的自旋极化率、小的磁阻尼系数与易调节的饱和磁化强度等独特的本征特性,同时不含稀土与贵金属材料,其原料来源丰富、经济成本低,因此他是未来超高密度垂直磁记录介质与自旋随机存储器的侯选材料。本文针对这一具有理论研究意义与应用价值的MnGa薄膜材料开展研究。采用磁控溅射法在MgO(100)衬底上制备了MnGa薄膜,采用振动样品磁强计与X射线衍射仪、原子力显微镜

【作者】

：

江士泽

【机构】

：

华中科技大学

【发表日期】

：

2016年05期

【关键词】

：

MnGa 磁控溅射后退火温度微结构磁性能溅射气压薄膜厚度

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