AlN薄膜及声表面波器件制备研究

被引量 : 7次 | 上传用户：wxws008

【摘要】

：

近些年,随着各国研究机构对AlN薄膜应用领域的大力拓宽,AlN薄膜也被应用在了SAW传感器领域,而且也已经出现了很多相关研究的报道。但是在这些报道中,基本采用的都是一些有硬质刚性单晶衬底或者机化合物衬底,例如Si、金刚石、聚酰亚胺、LGS、聚乙烯等,而刚性衬底无法应用于一些弯曲表面的测试,有机化合物衬底则会在超过400℃的工作环境中发生分解甚至会释放出气体,这极大地局限了SAW器件的应用前景。为了

【作者】

：

弓冬冬

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2017年01期

【关键词】

：

氮化铝薄膜 Hastelloy柔性基底声表面波传感器压电性能多物理场仿真

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

社会信用体系建设的模式选择与策略r——以福建省为例

社会信用体系建设是党中央、国务院高度重视的战略问题,具有维护地区正常社会秩序、保障区域经济健康发展的功能.为此,梳理社会信用体系建设的国际模式和国内探索并结合福建

期刊

福建省社会信用体系建设运行模式实现路径

不同物质对LuxAB标记菌株Cupriavidus nantongensis X1生长及降解毒死蜱的影响

本实验从主要根系分泌物组中选取了以下几类作为研究对象,三种糖:果糖、葡萄糖和蔗糖;五种氨基酸:精氨酸、丝氨酸、天冬氨酸、谷氨酸和半胱氨酸;五种有机酸:丙二酸、柠檬酸、丁二酸、苹果酸和草酸。研究根系分泌物组分对毒死蜱降解解菌株Cupriavidus nantongensis X1的生长及降解毒死蜱的影响。以X1的标记菌株Lux-X1作为研究对象,实验结果如下:1.LB液体培养基中添加的三种糖类物质,

学位

毒死蜱微生物降解机理根系分泌物

城市和边远地区大气汞的浓度、形态及影响因素——以中国城市和北冰洋大气为例

大气汞的来源、时空分布特征以及变化影响因素等是近年来大气化学和气溶胶研究的重点之一。为深入理解大气汞的背景浓度，时空分布特征，大气转化机制，源汇特征以及长距离输送，本文

学位

臭氧时空分布大气汞大气转化机制浓度高值

LGS声表面波传感器温度应变特性研究

声表面波（Surface acoustic wave,SAW）器件因为其具有体积小、品质因数高、响应快、成本低、可以无线无源工作等优点,因此非常适合高温高压、高速移动或旋转、有毒有害等恶劣环

学位

LGSSAW传感器微电子工艺温度应变

形式主义:危害·成因·应对策略

形式主义作为“四风”之首,严重危害党群干群关系的融洽、社会生活的全面发展以及党执政根基的稳固.形式主义的产生有主观和客观两个方面原因,信念缺失、知行不一、动机不纯

期刊

形式主义群众路线党性修养不忘初心执政根基

钛酸锶晶体表面导电层的光电流现象研究

钛酸锶(SrTiO_3)晶体是一种钙钛矿型绝缘体。早期,对SrTiO_3的研究大量集中在通过掺杂Nd、Cr、La等金属离子获得的SrTiO_3导电层上。十年前,SrTiO_3/LaAlO_3(STO/LAO)界面处发现高迁移率的二维电子气(2DEG)引发了人们对SrTiO_3的极大研究兴趣,并发现STO/LAO界面具有高迁移率(4K时10000cm2/v·s)、超导,持续光电流等性质。后来,发现A

学位

Ar+轰击钛酸锶光电流陷阱能级分布

省直管县财政改革及对市(州)的影响研究r——以贵州省为例

贵州历经10年省直管县财政改革,对规范省以下财政分配关系:提高财政资金使用效率、改善基层政府公共服务、推动城乡基本公共服务均等化、集中力量夯实基础设施等具有重要而积

期刊

省直管县财政市(州)政府成效评价对策

高校思想政治教育:历程·成就·启示r——以新中国成立70年为视角

新中国成立70年来,高校思想政治教育经历了在曲折中发展,在发展中充实的历史过程.回望过去,高校思想政治教育目标任务日益明确,学科建设日趋科学,育人体系达成综合化,队伍建

期刊

高校思想政治教育马克思主义队伍建设主渠道

浅谈营销稽查在电力营销管理中的运用

本文通过对荣华二采区10

期刊

AlN薄膜及声表面波器件制备研究

其他学术论文