等离子体源渗氮技术是一种新型离子渗氮技术,能够消除传统直流离子渗氮技术中存在的温度不均匀性、工件打弧和空心阴极效应等缺陷。本文系统研究了渗氮温度、渗氮气压、试样位置及试样电位状态等工艺参数对等离子体源渗氮AISI316L奥氏体不锈钢渗氮层金相组织、相结构、成分、表面显微硬度、表面粗糙度及耐腐蚀性能的影响,给出了等离子体源渗氮工艺技术特性图,以期为实际应用提供理论依据。悬浮电位、渗氮气压300Pa、距屏高度100mm时,渗氮温度为350-500℃,渗氮层厚度为2-14μm,峰值氮浓度为18-21at.%,表面显微硬度为HV01N10.5-15.5GPa,表面粗糙度Ra为0.022-0.120μm；渗氮温度为400-450℃时,能够获得具有良好综合性能的YN相渗氮层；渗氮温度为500℃时,渗氮层有CrN相析出,耐蚀性能急剧下降；悬浮电位、渗氮温度450℃、距屏高度100mm时,渗氮气压由300Pa升高至500Pa,渗氮层厚度和峰值氮浓度分别由14μm、21at.%降低至7.5μm、18at.%,表面显微硬度和表面粗糙度也明显下降；渗氮层的成分和性能与试样位置及试样电位状态相关。悬浮电位、渗氮温度450℃、渗氮气压300Pa时,距屏高度为20-100mm,渗氮层厚度为14-15μm,峰值氮浓度为20-25at.%；距屏高度增加至150mm和200mm,渗氮层厚度分别降低至9μm和7gm,峰值氮浓度分别降低至15at.%和17at.%,表面显微硬度和表面粗糙度较低。渗氮温度450℃、渗氮气压300Pa时,施加200V负偏压试样较相同位置悬浮试样渗氮层厚度提高1-4μm,峰值氮浓度提高1-3at.%,表面显微硬度和表面粗糙度也显著增加。