物体表面具有一定的表面织构会对其摩擦特性产生明显影响,作为表面织构的一种,微坑阵列结构常被应用于活塞缸套等物体表面,起到储油减磨的效果。加工微坑阵列的方法有多种,其中掩模电解加工由于加工效率高,工具电极无损耗,加工表面质量好,无残余变形等优点,在加工微坑阵列方面有独特的优势。本文提出使用干膜制备掩模并进行基于干膜掩模的电解加工微坑阵列试验研究,主要完成的工作如下:(1)开展了基于干膜的掩模制备试验研究,提出一种新的掩模制备的光刻工艺方法,并研究了曝光时间、显影时间等对其结果的影响,优选了参数。为后续掩模电解加工试验奠定了良好的基础。(2)构建了干膜掩模电解加工微坑阵列试验系统,主要包括:机床本体、电解液循环系统、电源系统、夹具等。提出使用侧冲的冲液方式进行掩模电解加工,设计侧冲夹具并优化,以确保掩模与工件的紧密贴合。(3)开展了干膜掩模电解加工微坑阵列试验研究,研究各个工艺参数,如加工间隙、电解液压力、干膜掩模孔径、加工电压、加工时间等对微坑阵列的加工影响;通过采用优选后的加工参数,并设计相应的夹具,成功在圆柱体外表面加工出均匀的微坑阵列;使用不同的掩模板制备具有异形镂空图案的干膜掩模,进行基于干膜掩模的电解加工,成功在工件表面加工出具有“人”字形图案的异形凹坑阵列。