脉冲激光沉积制备铌金属超导薄膜的研究

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作为常用的低温超导材料,铌金属超导转变温度(rC)可达9.3 K,铌薄膜的最高TC值也接近这一温度。铌薄膜因其导电性好,化学性质稳定,机械强度高,相干长度39 nm等优点,被广泛应用于医学、生物、能源等方面,特别是近年来低温超导器件实现了对太赫兹波段的探测,使其在:天文、大气、物理等方面拥有了更加宽广的应用前景,因此如何大量实现高性能铌金属超导薄膜的制备成为目前该研究的热点。制备铌薄膜最常用的方法是脉冲激光沉积技术(Pulsed Laser Deposition;PLD),该技术能够灵活方便的制备铌
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