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精密加工技术对微电子、生物、医疗、航空、航天等方面都有至关重要的作用,高精密加工、定位技术也已成为科研工作的重要内容,若没有精密定位工作台将无法开展相应的检测与研究。为满足高精度加工与定位要求,减小人为误差,增强设备的自动化程度,本文设计了一套功能完善的二维精密定位平台控制系统。针对二维精密定位控制平台,本文进行了一系列的研究。首先,针对定位平台的三维结构进行设计,根据设计指标选择并安装合适的硬件,选用USM60超声电机作为平台的驱动单元,平台位置测量部分选用光栅尺位移传感器实时采集位置信息；其次,