本论文主要涉及到三类亲和性变化成像体系。对所需的单体、聚合物等进行了合成,并对合成聚合物的基本物化性能及其用于光敏成像体系的成像性能进行较系统的研究。(1)本研究中,合成了甲基丙烯酸正丁酯(BuMA)与甲基丙烯酸(MAA)、苯乙烯(St)的共聚物,并对其与2,2-二[4-(2-氧乙烯乙氧基)苯]丙烷(BPA-DEVE)(以下简称二乙烯醚)和光产酸剂(PAG)组成的成像体系的成像性能进行了考察。研究结果表明:二乙烯醚含量的增多、预烤版温度的升高和时间的延长对交联程度的加深都是有利的,三者之间的有效结合能产生预期的交联效果; PAG为3,4-二甲氧基苯乙烯三嗪(DMOS-triazine)或三苯胺硫鎓盐(TPASS)时,体系都能很好成像,并随着后烤版温度的升高,成像时所需的曝光时间减少,即敏感度增大;PAG为DMOS-triazine时,温度对成像敏感度的影响不大,PAG为TPASS时,温度对成像敏感度的影响较大,尤其在MAA单元含量多的树脂组成体系中表现的更为明显。对两种成像体系的比较表明:MAA含量多的体系,成像敏感度反而小。(2)合成了甲基丙烯酸叔丁酯(TBMA)单体及其均聚物,以及与MAA、St的共聚物,并对其基本物性及部分聚合物的热稳定性和酸存在下的热稳定性进行了考察。结果表明:甲基丙烯叔丁酯的均聚物和共聚物有较好的热稳定性,树脂中TBMA单元的分解温度都在200℃以上,但其在酸存在下表现出热不稳定性,并随酸含量的增多,其分解的温度越低,酸含量的增多和温度的升高都能极大地促进树脂中TBMA单元的分解而使树脂发生亲和性转变。另外,延长烤版时间也对树脂中TBMA单元的分解有利。研究中,还对TBMA共聚物与二乙烯醚(BPA-DEVE)和光产酸剂(PAG)所组成的成像体系的成像性能进行了较系统的研究,结果表明:三嗪类PAG曝光产生的HCl对树脂中TBMA单元的酸解效果较差,但其对树脂中羧基和BPA-DEVE形成的交联结构的解交联有较好的效果;三苯胺硫鎓盐曝光产生的三氟甲磺酸对树脂中TBMA单元分解和体系的解交联都有较好效果;成像体系中,树脂中MAA含量增加,体系的成像敏感度也增加,但MAA含量过多时,敏感度反而下降。(3)合成了甲基丙烯酸1-丁氧乙酯(BOEMA)单体及其与MAA、St或异冰片酯(IBOMA)或甲基丙烯酸甲酯(MMA)的共聚物,并对其基本物性及聚合物的热稳定性和进行了考察。结果表明:BOEMA的共聚物的热稳定性稍差,并随树脂中MAA含量的增多而热稳定性下降。当树脂中MAA含量较低时,BOEMA与St的共聚物和BOEMA与IBOMA或MMA的共聚树脂相比,表现出更好的热稳定性,分解温度有明显差异(相差30度以上);另外,湿度对BOEMA的聚合物的稳定性也有很大影响,湿度越高,树脂分解越快。此外,对热稳定较好的两种BOEMA与MAA、St的共聚物与PAG所组成的成像体系的成像性能进行的研究表明:PAG为对甲氧基苯乙烯三嗪(PMOS-triazine)或三苯胺硫鎓盐时,无需后烤版,体系便能很好成像;PAG为PMOS-triazine时,后烤版温度对体系成像敏感度的影响很小, PAG为三苯胺硫鎓盐时,后烤版温度对体系成像敏感度的影响很大。