论文部分内容阅读
GaN在高温电子学及蓝光显示器件上有着广阔的应用前景,已得到了广泛的研究.GaN具有很强的化学惰性和较高的结合能,给器件制备带来了挑战—GaN很难腐蚀.因此,研究高腐蚀速率低损伤的腐蚀方法很有必要.光助电化学腐蚀就是这样的一种腐蚀方法.另一方面,目前GaN材料的质量和生长速率还没有得到解决,有必要研究材料生长问题.氢化物气相外延方法可生长出高质量的GaN,而且生长速率很高.该文从理论和实验上进行了这两方面的研究.