近年来,太赫兹技术取得了长足的进展,已经有许多太赫兹的源与探测器被实现,太赫兹时域光谱仪,太赫兹成像技术等应用也已被报导。超表面在近期也成为了国际热点话题之一。超表面是有一系列周期排列的微结构单元组成的阵列,体积小,超薄,具有自然界材料所没有的一些性质。随着研究的进行,基于超表面的各种功能器件也陆续被报导,例如超表面分束器,OAM光束产生器,Bessel光束产生器,超表面透镜等。由于自然界缺乏合适的材料,太赫兹的功能器件,如太赫兹波片,分束器等一直都是一个难点,这也同时阻碍了太赫兹波其他领域的研究。而太赫兹超表面器件的研究为这些空白的弥补提供了可能。本文主要对太赫兹超表面器件进行研究,首先介绍了太赫兹波的性质,太赫兹技术和超表面的研究背景和发展现状,以及超表面制作工艺。然后对超表面器件的几何光学原理进行系统的阐述。本文主要通过基于时域差分算法的仿真模拟对太赫兹超表面结构进行设计和分析,通过对单个天线的仿真,选择合适的尺寸设计超表面,文中共实现了三种不同的功能,分别为太赫兹波的异常反射,太赫兹波的偏振转换器,太赫兹涡旋光束产生器。随后使用光刻技术和电子束蒸发技术进行样品制作,进行实验,实验结果与仿真吻合。太赫兹超表面器件对于太赫兹波的研究具有重要意义,它弥补了太赫兹器件的缺乏,文中对工艺的研究也为超表面制作提供了经验,实验结果验证了太赫兹超表面器件的可行性,在未来太赫兹技术的发展中具有很多潜在价值。