【摘 要】
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随着我国电子工业及其经济的兴起,逐年增多的国内企业,包括高技术电子行业在国内取得优异成绩的同时,市场开始逐渐向国外扩展,所生产的电子产品销售到全球。电子产品的核心技术对于我国来说还是属于提升阶段,需要更多的开发与研究,因此国家出台了一系列政策对电子产品的核心技术进行相关研究,进而促进了电子产业的进一步发展。电子产品的生产依托的是洁净空间,设计一套完整的洁净厂房对于电子产品的生产研发和测试是尤为重要
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随着我国电子工业及其经济的兴起,逐年增多的国内企业,包括高技术电子行业在国内取得优异成绩的同时,市场开始逐渐向国外扩展,所生产的电子产品销售到全球。电子产品的核心技术对于我国来说还是属于提升阶段,需要更多的开发与研究,因此国家出台了一系列政策对电子产品的核心技术进行相关研究,进而促进了电子产业的进一步发展。电子产品的生产依托的是洁净空间,设计一套完整的洁净厂房对于电子产品的生产研发和测试是尤为重要的,完整的洁净厂房内的气流情况是设计者需要优先考虑的情况,为此要设计合理的气流组织,以使得洁净室内空气分布满足工艺和设备的要求,同时又保证室内空气温湿度、压力、减少能源使用量等就具有及其重要的意义,而影响到洁净室内流场的其中一个非常关键的点就是气流组织,因此研究不同气流组织下洁净室内流场情况就显得尤为重要了。基于以上背景,将深圳某个千级洁净室项目作为本次模拟的实例,使用数值模拟的方法对该洁净室进行数值模拟,利用暖通专业的气流模拟软件AIRPAK进行3种不同送回风形式模拟,分别是单向流洁净室室内气流状态、上送测回时,单侧回风形式以及双侧回风形式室内气流状态三种情况。针对上述三种情况进行数值模拟,通过模拟结果进行对比分析,得出相应的结论。模拟结果显示,单向流洁净室气流流线单一,气流形式更有利于排除室内污染物,适合百级以上洁净室,但其造价较高,结构复杂,需要完善的设计方案才可以。非单向流洁净室的双侧回风形式优于单侧回风形式,双侧回风形式气流流线更加均匀,整个洁净室气流、温度、压力等更加均匀。根据模拟结果的情况,对该形式在实际工程中进行施工设计,最后进行施工后检测,得到了满意的结果。通过此研究希望可以验证上述气流方式准确性,也希望可以引出其他更有意义和价值的研究,为以后的设计人员提供相关参考。
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