微电子学、光电子学和光子学是现代光通信和光传感产业的支柱。随着器件设计理论和制备工艺的发展，以及对器件工作性能和能量消耗等要求的提高，减小器件尺寸、提高集成度，并将光子器件与微电子、光电子器件在纳米尺度上混合集成已成为必然趋势，这就要求光波导线宽向亚波长和纳米尺寸发展。但是由于对高精度的要求，制作亚波长直径的低损耗光波导仍然是种挑战。 本文主要研究了氧化硅纳米光纤的制备方法，通过不断的实验，研制出酒精灯火焰加热蓝宝石控温一步拉伸的制备方法，该方法可制备出长且均匀的氧化硅纳米光纤(空气包层)，其直径可达到几十个纳米，表面平整度可达到原子量级，并且具有良好的直径均匀性。光可以通过直接输入或光学耦合的方式进入纳米光纤，并且可根据传输光波长与纤芯直径的大小关系分别支持单模和多模传输。同时通过实验和理论推导还发现纳米光纤具有极强的倏逝波特性，进而本文还对氧化硅纳米光纤进行了光学性能分析和光传输实验，并对纳米光纤的传输损耗进行了测试，分析了其各项性能。文章的最后还就氧化硅纳米光纤所具备的尺寸小、韧性高及倏逝波耦合等特性，对其在光学传感器、微光子学器件、非线性光学和其他领域的应用进行了展望。