作为面向21世纪高等教育的一种教学手段,多媒体辅助教学对培养高素质的专业人才具有重要的意义。在高等工科院校电子科学与技术专业的本科教学中,《硅集成电路工艺原理》是一门重点讲述硅集成电路工艺的物理基础和基本原理的专业课程,非常适于采用多媒体辅助教学。本文研究分析了该课程的教学特点、教学中存在的问题以及计算机多媒体在教学中应用的现状,在学习并初步掌握了多媒体素材创作方式的基础上,基于Dreamweaver平台制作了用于本教学的多媒体教材。在课件制作过程中,通过将教材内容化解为适于多媒体展示的知识点,建立了课件的结构框架；利用多种计算机软件完成了多媒体素材的制作,尤其是使用Flash软件完成了相关图片及动画的设计与制作,以增加课件内容的趣味性以及可理解性；合理安排、使用超文本及导航图标等链接功能,实现了课件的交互性。经运行与测试,本教材可用于今后的本科教学实践,以达到辅助教学的目的。