【摘 要】
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随着半导体产业的不断发展,超大规模集成电路随着纳米节点的发展应运而生。在元器件微型化、电路规模成化的现在,作为连接版图设计和版图生产中间环节的版图优化起着越来越重
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随着半导体产业的不断发展,超大规模集成电路随着纳米节点的发展应运而生。在元器件微型化、电路规模成化的现在,作为连接版图设计和版图生产中间环节的版图优化起着越来越重要的作用。在实际版图设计和版图优化的过程中,大多数版图线网是非规则形状的,制造工艺中真实的缺陷轮廓也是非规则形状的。随机缺陷的版图优化借助图像版图来完成会更加直观,因此从标准版图格式中提取图像版图使用图像处理技术进行版图优化就成为了解决版图优化相关问题的一种选择。把标准版图文件中的版图信息转换成版图图像信息,使用图像处理技术进行优化,然后把优化后的版图图像信息再转为版图文件。本文的工作就是对标准版图格式和版图图像间的互相转换算法进行研究。对于标准CIF版图格式向图像版图转换,本文提出了一种基于位填充的版图信息提取方法。该方法首先构建一张超大的“画板”,逐条读取标准版图格式中的信息,将其“画”在“画板”。然后在所有信息“画”完之后,再将其分块输出为图像文件,以便进行后期的版图优化。通过实验验证得出,相对于现有的图像版图提取方法,新方法不仅解决了较大CIF版图的完整提取问题,并且因为其不会对CIF版图语句进行重复处理,其计算量显著减少,时间效率明显提高。同时新方法还具有提取参数准确、提取过程透明化的特点。对于图像版图向标准CIF版图格式的转换,本文提出一种基于图像边缘识别的图像版图转换算法,根据版图中不同图形的图形特征进行形状识别与格式转换。首先检测出版图图像的边缘并用链码表示以实现边界链码的跟踪;然后基于链码和行程编码检测边缘所对应的版图线网形状;同时实现了复杂版图中的孔洞以及嵌套孔洞的转换,避免了孔洞在转换后被覆盖和消失。在边界链码跟踪的序列中引入行程编码消除链码序列过长的缺点,大大降低数据冗余。实验结果表明,基于图像边缘检测的版图图像转换算法不仅实现了版图图像向标准CIF版图格式的高效转换,还具有准确性高,稳定性高,通用性强的特点,降低了版图与平面图的转换过程中信息量的流失,从而能够提高集成电路版图的成品率和可靠性。
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