为了提高我国半导体芯片制造过程中关键设备的自主开发和创新能力,在国家高技术研究发展计划重大面上项目——“100nm步进扫描投影光刻机”的资助下,课题对光刻机的整体结构、光刻原理做了深入研究,重点开发了照明投影控制系统中的剂量控制板。论文研究了剂量控制板的功能需求、剂量控制谈判算法、通讯原理及接口设计,并开发实现了板级驱动软件。首先,论文研究了实现曝光剂量控制的功能需求,设计了照明光学系统与照明投影控制系统的通讯接口,利用剂量控制算法完成对激光剂量的控制,达到了在正确的时间在圆片级分发正确的激光剂量的目的。并基于高性能、可裁剪的嵌入式实时操作系统设计了剂量控制外部接口程序。其次,论文开发了应用于整机系统的基础软件组件——通信网络组件。结合socket通信原理与光刻机控制系统的具体特点,将socket应用程序接口封装成适用于光刻机中点到点通信的统一接口。再次,论文分析了照明投影控制分系统与其它分系统为一次曝光做好同步准备的谈判算法,并在剂量控制板驱动软件中给予实现。最后,论文基于VxWorks系统实现了剂量控制板板级驱动程序,并提出了一种嵌入式系统中软件、固件、硬件联合测试的方法,用这种方法进行了照明投影控制分系统的功能和性能的集成测试。本学位论文所研制的剂量控制板板级驱动软件,于2005年12月通过了上海微电子装备有限公司的验收。