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随着现代工业的发展,人们对大尺寸三维坐标测量的要求越来越高,传统的测量方法已经无法满足人们对测量的高精度需求。相比于传统测量方法,运用激光跟踪测量系统测量一些工业产品的方法应运而生。本文是基于球坐标系原理的激光跟踪干涉测量系统,对机械臂上某一目标点,进行跟踪控制设计,通过检验其线性度来说明本文设计的可行性。文章主要对激光跟踪系统的干涉测长光路、位置敏感探测器信息采集、软硬件设计、以及实验跟踪性能检验进行了详细说明。本文针对干涉测距仪的基本原理,分析了光线的传播路径,对光路中的光程差进行具体计算,根据