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振动主动控制技术作为振动工程领域内的一项新兴技术,正日益成为解决航空航天等领域振动控制问题的有效手段。近年来,随着精密加工技术、微驱动器机械系统、医疗技术和航天航空技术的飞速发展,微纳技术应用越来越广。由于微悬臂梁结构简单,在微纳操作领域中有十分广泛的应用,其振动对微纳操作技术的应用与发展限制非常大,对于微悬臂梁的振动主动控制要求控制力非常小,而IPMC作为致动器产生的力较小,适合作为微纳操作领域振动主动控制的致动器。本文对基于IPMC致动器的铝基悬臂梁振动主动控制进行研究,主要工作与成果如