压电陶瓷电场辅助阳极连接技术研究

来源 :华东船舶工业学院 江苏科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jayslacker
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本文系统地研究电场辅助阳极连接的机理。在温度513K-713K区间,电压500V条件下,阳极连接了可阀(Kovar)合金/铝膜与玻璃片。对该试验提供的试样和数据,用扫描电镜,电子探针和透射电镜作界面结构和离子浓度的观察与分析。并半定量地分析了离子输运机制,计算了金属阳极与玻璃界面的电场分布,提出了一个碱离子耗尽层生长的理论模型。讨论了紧密接触面积扩大的动力学过程。研究结果表明:在外加电场的作用下,玻璃中的钠、钾等碱离子发生迁移,在接近阳极一侧形成耗尽层,其厚度以连接时间的双曲正切函数形式增长;阳极连接的完成取决于待连接表面是否完全形成紧密接触,而非电荷迁移量;而紧密接触面积的扩大,在低于663K的连接温度时,受控于玻璃的弹性形变,激活能为67 KJ/mol;而在高于上述温度时,受控于玻璃的粘滞性流动,相应的激活能为195 KJ/mol。 作为玻璃与铝的阳极连接的应用,本文在493K—523K的温度区间上,电压为300V—450V的范围内,成功地进行了极化的压电陶瓷片/铝膜与玻璃膜/硅片的连接。
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