随着超精密加工技术日益成熟,由于其具有微纳米尺度、难以直接接触、微观表面效应、定位误差影响大等特点,使得常规检测手段己不能满足要求。而扫描白光干涉检测技术具有分辨率高、速度快、大范围且非接触等特点,成为超精密检测的研究热点。本文根据技术指标和要求,基于扫描白光干涉原理,研制了一套微观形貌检测系统。首先,分析了扫描白光干涉检测原理、表面粗糙度测量及三维形貌恢复算法。其次,对测试系统进行机械结构设计。针对金相显微镜改装式白光干涉仪的可测范围小缺点,合理设计机械系统的空间布局并实现自动化。研制了一种结构紧凑,可靠性高、体积小、能够连续切换滤波片的调节装置。研制了一种柔性结构微位移器,实现了垂直扫描功能。研制了一种操作简便的干涉条纹微调机构,实现干涉条纹的旋转、水平移动及粗细调节功能。利用Workbench对关键零部件进行了有限元分析,验证了所设计机械结构的合理性和可靠性。然后,设计开发了测试软件,实现了电移台的运动控制、微位移器器的扫描控制、干涉图像的采集控制、信号数据的处理计算以及最终三维形貌信息的展示。最后,对测试系统性能进行分析和实验验证。采用单刻线板和标准粗糙度样块分别进行重复性精度测试,误差均小于5%,对典型光电器件进行三维形貌恢复,主要技术指标满足预期要求。