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ZnS_(1-x)Te_x是新近发现的制作短波长光波段光电子器件和紫外探测的理想材料,本文介绍了改进现有镀膜机等设备,用真空蒸镀的方法在不同的温度下、不同衬底上制备出0≤x≤1的一系列厚度不同的ZnS_(1-x)Te_x多晶薄膜。用原子力显微镜、椭偏仪、X射线衍射仪、能量色散谱仪、可见-紫外分光光度计、荧光光谱分析仪和四探针测试仪等对制备的多晶薄膜的形貌、厚度、结构、晶格常数、成分、特征吸收