该论文简要分析了超高真空状态下限制极限真空度的因素和机理,重点介绍了真空材料的升温脱附对真空度的重要影响.设计并加工了超高真空材料的烘烤升温脱附谱的实验设备,并用此设备测出了真空系统结构材料不锈钢、无氧铜和铝合金的烘烤脱附谱和三者的各种残余气体成分(主要是H<,2>、H<,2>O、CO、CO<,2>、CxHy)在不同温度时的离子流(BALZERS-200型四极质谱).分析了三种真空系统结构材料对各种主要残余成分的烘烤性能;比较了三者的烘烤脱附谱;最后计算出了一定工艺过程处理后的三种材料的放气率.虽然真空室壁材料的气体脱附是其固有的性质,无法消除,但我们可以设法减小脱附放气量.大量实验证明,通过适当的温度烘烤后,真空室的脱附放气量可以显著减少,极限压强可以提高几个数量级.因此研究超高真空材料的烘烤脱附谱对于获得超高真空和提高极限真空度有重要的意义.同时超高真空材料在不同温度时的脱附放气量又可以为真空烘烤提供指导.目前,真空材料的升温脱附谱在真空界没有公认值,因为各人测最时的具体情况不同,如:样品的表面处理工艺、清洗工艺的不同,本底的差异,测量方法的不同和测量的误差等.该文中的实验样品不锈钢、无氧铜和铝合金样品经过同种处理清洗工艺,他们的脱附放气谱也是在同套真空设备中完成的,因此三者的本底的差异和测量误差相同,即数据测量是在同一误差基准上进行的,所以测量的数据可以对这三种材料的脱附放气率的比较提供直接的指导.