掺硼导电金刚石（boron doped diamond，简称BDD）电极因其优异的物理化学稳定性、低背景电流以及很宽的电势窗口，在重度废水及高品质日用水处理领域均具有广阔的应用前景。目前，我国在金刚石电极研究方面主要集中于固液态掺硼法，电极的性能还有待提高。本文对国外使用较多的气体掺硼方式开展工艺研究，对制备的电极在物理和电化学性能方面进行分析，初步优化了工艺条件。本文完成的主要工作以及取得的成果如下：1.在热丝化学气相沉积（HFCVD）系统中采用气体法成功地制备出掺硼金刚石电极。实验研究了温度、气压、碳源浓度以及掺硼浓度等对电极性能的影响。2.设计全新的双面沉积方式，通过有限元分析比较了单双面电极的应力差异，并且通过实验分析比较了掺硼浓度对电极涂层应力的影响。通过摩擦磨损实验，评价了预处理方式、电极衬底等对电极膜基结合性能的影响。3.采用四探针方法对所制备电极的电阻率进行了分析，发现电阻率最低可达1×10-3·cm，表明气体掺硼法具有很好的掺杂效率。采用循环伏安法研究了电极的电化学性能，分析了不同掺硼浓度电极的电化学窗口、背景电流、峰值电流、电极可逆性以及稳定性等。在对酸性苯酚溶液催化氧化试验中于电压约1.8V处出现一个峰值，表明所制备电极对有机物具有明显的降解效果。