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制备高效的CdTe太阳电池，改善电池的背接触特性是一关键技术。在Ⅰ-Ⅴ曲线上可以看到所谓的roll—over现象，这主要是p型CdTe与背电极间形成了反向结。背接触层中掺Cu能够得到性能良好的电池，但是Cu会在CdTe中进一步扩散，在CdTe中形成缺陷，造成CdTe太阳电池性能不稳定。因此，有必要系统研究Cu原子在薄膜中的存在状态，进而有效控制Cu的浓度；另一方面，要获得良好的背接触层，必须制备出结构致密的ZnTe与ZnTe：Cu多晶薄膜。衬底温度和沉积速率是影响薄膜质量最重要的参数，本文将针对这一