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超精密电容测微仪是一种非接触式精确测量微小相对位移、微振动和微小尺寸的仪器,具有温度稳定性好、测量范围大、测量精度高、动态响应好、结构简单等一系列优点,在航空、航天、工业生产加工、超精密测量等领域中具有广泛应用。随着科学技术和工业的飞速发展,对精密测量仪器的分辨力、精度和稳定性要求也越来越高。JDC系列电容测微技术作为非接触式测量的手段,由于采用的是早期的电路器件,这些器件在可靠性和精度指标等方面都比较落后,模拟电路复杂,调试困难,在仪器的智能化、小型化方面还存在较大的差距,功能