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横向压电变形镜是一种近年来广泛应用于天文观测、激光器、同步辐射光源和视网膜成像等自适应光学(Adaptive Optics,AO)系统的新型波前校正器件,由于其具有构造简单、结构灵活、变形量大和适于校正低阶像差等优良特性,成为了领域的研究热点。随着光学系统性能的不断提升,对变形镜提出了新的更为严格的要求。以应用于高功率激光系统的变形镜为例,既要有精确的波前校正能力,又要具备大的变形量和高的表面质量。以往横向压电变形镜设计过程忽略了粘结层的影响,没有进行优化设计,影响了其波前校正能力的提高;粘结层影响