微机电系统作为最典型的产品微型化和智能化的应用,一直是国内外学者研究的热点。其中,微型构件的加工制造是最为核心的技术难题。微细电解加工技术是利用导电金属在电解液中发生阳极溶解的原理来对工件进行蚀除加工的一种特种加工方法。采用超短脉冲电解加工技术可以极大地提高电解加工精度,但其精度会受到超短脉冲电源的限制。本文提出了新型可控脉冲微细电解加工技术,能够将微细电解加工精度控制在亚微米级,避免使用昂贵的超短脉冲电源。自行研制高精度、高稳定性的三轴微细电解加工试验平台。该试验平台包括运动控制系统、短路检测系统和电源系统,完成三维电解铣削加工控制与检测软件系统的开发。根据微细构件加工尺寸小的特点选择采用静液加工方式,并对工件装夹方式进行优化。提出一种基于电感的新型可控脉冲微细电解加工技术。在脉冲电解加工等效电路的基础上引入可调电感,使原来的一阶线性RC等效电路变为LRC二阶振荡电路。通过系统数学模型的建立,分析该方法获得高加工精度的机理。利用该技术进行二维和三维微结构的电解加工试验,得到亚微米级的加工精度。提出一种基于电容的新型可控脉冲微细电解加工技术。在脉冲电解加工等效电路的基础上引入可调电容,从而形成新的耦合电路。建立系统的数学模型,对其加工机理进行分析。通过微细电解加工试验验证该方法获得高加工精度的可行性。提出一种基于微分电路的新型可控脉冲微细电解加工技术。通过微分电路的引入,对脉冲电源输出信号进行微分处理,有效缩短极间脉冲电流的持续时间。建立系统的数学模型,通过对其输出阶跃响应分析,得到微分电路时间常数和电解加工定域性之间的对应关系。利用该方法进行微齿轮结构的高精度加工,并完成微齿轮的装配和驱动试验。通过对加工电路中电感位置的研究,发现电解电路中电子电路和离子电路两种不同模式。找到能够直观反映电解液浓度的瞬态响应参数,并据此设计出电解液浓度实时监控系统,解决因电解液消耗浓度降低所造成的加工持续短路问题。完成浓度监控系统的测试和加工试验,验证其监控电解液浓度变化的可行性。