【摘 要】
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本论文面向IC后封装装备中多维高性能运动控制的关键技术问题,针对“基于单CPU的开放式IC封装试验台控制系统”的软件和硬件系统开展了相关研究。本论文主要完成了下列研究工
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本论文面向IC后封装装备中多维高性能运动控制的关键技术问题,针对“基于单CPU的开放式IC封装试验台控制系统”的软件和硬件系统开展了相关研究。本论文主要完成了下列研究工作:1.本文首先介绍了IC封装运动平台广义并联方式的机械结构,并对IC封装运动平台的模型做了理论推导,这为后续的控制系统设计提供了很大的帮助。2.根据IC封装平台对平台驱动方式,运动控制系统以及反馈系统的要求,在控制系统硬件设计中采用了以“PC+通用IO”的开放式运动控制系统结构,增加了基于LabVIEW的数据采集系统提高显示效果和可靠性。3.采用“Windows + RTX实时扩展系统”的方式来实现开放式控制器的实时性要求,设计了底层运动控制软件的开放式结构,用户可以非常方便的把自己的算法嵌入到软件结构中进行算法的研究。4.采用基于LabVIEW软件对IC封装平台Z方向音圈电机系统进行控制模型辨识的研究,并对辨识的模型进行了验证。5.本文采用试验的方法分析了基于LabVIEW进行系统辨识时,激励信号,数据预处理,辨识模型的选择等对系统辨识结果的影响。通过试验对比了在RTX实时系统下各种运动控制算法和路径规划算法对定
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