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铁电薄膜由于具有优良的铁电、热释电、压电、声光及非线性光学特性,被广泛应用于微电子和光电子领域,近年来对其光电特性的研究报道也越来越多。因铁电材料具有自发极化,并且自发极化方向可以随外电场的反转而反向的特点,其自发极化将诱导产生退极化场,从原理上讲,铁电材料退极化场具有与半导体PN结的内建电场类似的作用,即能够收集材料吸收光子后产生的电子和空穴,与PN结势垒型光伏效应不同,它属于体光伏效应,在一定波长的光照下能产生较大的输出电压。这种优越的光电性能使得铁电材料在各种微机电系统和光电系统中有着广泛的应