宽波段透射式纳米结构颜色滤光片的模拟研究

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我们生活在绚丽多彩的世界,颜色是人眼对光线的感知效果之一。传统颜色获取技术主要是通过有机染料,污染严重且极易褪色。近年来,利用光在微纳结构的表面,产生衍射、散射和干涉现象而呈现彩色的原理,制备的结构色受到广泛关注。由于环保、稳定且饱满,结构色在光学防伪技术、纳米艺术和文件加密等方面应用前景广阔,计算和纳米加工技术的发展促进了全彩结构的制取及研发;集成电路对高分辨率且利于集成单片的滤光片提出了更高的要求。使用模拟方法,本文基于薄膜干涉效应的法布里-珀罗(Fabry-Pérot)共振腔结构设计的红绿蓝三色透射式微纳结构滤光片,实现了较高的透射率和优秀的角度敏感性。研究内容如下:(1)Ag/TiO2/Ag三层堆膜对称大面积且无光刻的透射式滤光片。由金属Ag作为宽带吸收层,选择性的反射和透射特定波长的光;透射峰的位置随介质层TiO2的厚度偏移,实现宽波段颜色滤光。底层金属的厚度优化,可得到角度敏感性较低的红绿蓝三色滤光片。(2)Ni/HSQ/Ag三层堆膜非对称大面积且无光刻的透射式滤光片。工作原理与Ag/TiO2/Ag相同。吸收层用Ni替代贵金属Ag,可降低原材料成本;介质层HSQ替换TiO2,可降低纳米加工成本;因此更利于工业推广。(3)大面积无光刻Ag/ITO/SiO2/Ag四层堆膜对称结构滤光片。相对于Ag/TiO2/Ag三层堆膜,这个四层堆膜增加了ITO增透层,可提高光的透射率。对于以上三种滤光片,改变底层金属的厚度可以调节滤光片的角度敏感度,从而优化滤光片的角度敏感性。另外,增加基底厚度可提高光的透射率。相比于基于表面等离激元的滤光片,基于法布里-珀罗共振腔的颜色滤光片,不仅有较高的透射率和优秀的角度敏感性,且无需复杂的光刻技术也能覆盖整个可见光波段,便于大规模流水生产。
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