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热电材料因对环境友好又可实现能量转换而引起关注,人们对热电材料的研究也越来越多。Mg_2Si是中温区热电材料一种,因其具有良好的热稳定性、原材料丰富且来源广泛、热电性能较好及价格经济等优点而获得广泛关注,这也使得Mg_2Si有良好的应用前景。低维化的纳米薄膜材料与传统的热电材料相比热电性能高,热电性能对评价能量转换具有重要意义。在实际应用中热电薄膜会受到热循环应力作用,而力学性能对评价器件服役行为具有重要意义。所以本文针对Mg_2Si纳米薄膜的热学和力学性能展开研究,可以为Mg_2Si热电器件的设计