论文部分内容阅读
随着芯片集成度的不断提高,芯片冷却已成为影响计算机性能进一步提高的关键因素。解决芯片冷却问题的主要途径为发展新型冷却技术和微型蒸气压缩式制冷系统。从制冷量、可靠性以及价格等因素考虑,大力发展微型蒸气压缩制冷系统无疑是具有重大意义的。蒸气压缩式微型制冷系统主要部件包括压缩机、蒸发器、冷凝器和节流装置。在制冷系统微型化中碰到的一个共性问题是需要有一个与制冷机构相匹配的微型压缩机。靠静电驱动的隔膜压缩机,以高效性、紧凑性和可伸缩性,为其应用于电子芯片冷却提供了保证。本文首先对静电驱