【摘 要】
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类金刚石(DLC)薄膜由于其具有高的耐磨性、高的硬度以及良好的生物相容性等诸多优点成为医用不锈钢表面的理想涂层。然而,也由于DLC薄膜与基底结合过程中化合键不匹配以及高硬度的DLC薄膜与低硬度的基底之间的机械性能差异导致DLC薄膜中存在很大的残余应力,膜-基结合力差且薄膜致密性较差,存在很多微孔等透膜缺陷,电解液容易渗透到达基底表面,造成基底腐蚀;并且,在体液浸泡过程中,溶液容易渗透达到膜层-基底
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类金刚石(DLC)薄膜由于其具有高的耐磨性、高的硬度以及良好的生物相容性等诸多优点成为医用不锈钢表面的理想涂层。然而,也由于DLC薄膜与基底结合过程中化合键不匹配以及高硬度的DLC薄膜与低硬度的基底之间的机械性能差异导致DLC薄膜中存在很大的残余应力,膜-基结合力差且薄膜致密性较差,存在很多微孔等透膜缺陷,电解液容易渗透到达基底表面,造成基底腐蚀;并且,在体液浸泡过程中,溶液容易渗透达到膜层-基底界面从而导致DLC薄膜脱落。因此,为了实现DLC薄膜的生物学应用,通过调节沉积参数,在保持DLC薄膜高的
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