【摘 要】
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四光束激光干涉研究是激光干涉应用研究的新兴领域,该研究受到世界各国的广泛关注。而基于这一研究领域的微纳米定位方法研究也逐渐成为了该领域的一个重要分支。论文通过构
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四光束激光干涉研究是激光干涉应用研究的新兴领域,该研究受到世界各国的广泛关注。而基于这一研究领域的微纳米定位方法研究也逐渐成为了该领域的一个重要分支。论文通过构建四光束激光干涉系统,对采集干涉图案过程中的干扰因素进行了分析及噪声处理。对于滤波后的干涉图案的定位处理是本文的研究重点,论文从边缘检测理论着手引出亚像素边缘检测算法,分析了基于矩保持的、插值的以及曲线拟合的亚像素边缘检测算子,给出了三种算法对四光束激光干涉图案的处理结果;然后,通过Matlab软件仿真进行了图像处理,验证了最小二乘圆拟合定位算法的可实现性;最后,通过对实际干涉图案的定位给出了该算法的精度及误差,证明了该方法可以用于四光束激光干涉图案的微纳米定位。
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