针对目前我国工业过程自动控制、机电一体化及其他应用领域微压测量用工业变送器、液位计技术的需要，采用较大半径／厚度比(r／h)的新型超薄微压陶瓷弹性体设计和高性能钌酸盐厚膜应变电阻，并运用厚膜印刷、烧结工艺技术，研制出工作温度高、耐腐蚀、性能价格比高的新型厚膜微压力传感器。 本论文首先系统的介绍了厚膜技术基础知识及厚膜微压传感器设计的原理和方法。根据厚膜压力传感器的基本原理，对厚膜微压传感器进行理论分析、方案设计和电路设计，并给出信号调理电路的工艺版图；在厚膜工艺生产线上，加工制作了厚膜微压传感器。在微压传感器理论分析和方案设计过程中，详细分析了影响微压传感器性能的各种因素，重点讨论了厚膜微压传感器的结构设计、线性化电路设计和传感器温度补偿等问题。论述了传感器的制造工艺过程和测试结果。最后，对微压传感器的改进提出了一些措施。