铁酸钇(YIG)材料由于其优异的旋波特性而被广泛应用于微波通讯和磁光传感领域,如环行器、移相器、磁光隔离器等。现阶段YIG粉体制备主要存在的问题是粉体烧结温度过高,产物相结构纯度不够,YIG薄膜制备主要存在的问题是传统物理制备法成本较高、工艺复杂、灵活度低,不利于硅基光通讯器件的集成化和微型化。针对以上问题,本文采用溶胶凝胶自蔓延燃烧法在较低的煅烧温度下制备纯相YIG粉体,并利用溶胶凝胶法在Si片上通过生长取向生长的YIP缓冲层制备出了纯相YIG薄膜。采用溶胶凝胶自蔓延燃烧法以柠檬酸作为络合剂在较低的煅烧温度(700度)制得纯相YIG粉体。通过分析不同柠檬酸与金属离子摩尔配比(CA/M)溶胶的红外谱图及产物XRD谱图,找到了柠檬酸的量对产物相纯度的影响规律。通过分析前驱体DTG/DSC图谱制定了前驱体粉体煅烧曲线。通过对比水系溶胶和酒精系溶胶产物SEM图谱,分析了溶胶体系对最终产物的影响规律。通过分析不同煅烧时间产物的XRD图谱,阐明了溶胶凝胶自蔓延燃烧法制备YIG粉体的相结构形成过程。利用溶胶凝胶法在Si片上通过生长取向YIP缓冲层制备出了纯相YIG薄膜。通过分析不同溶胶配比、不同煅烧气氛和不同升温速率产物的XRD和SEM,优化得到表面平整无开裂的纯相YIP缓冲层制备工艺。通过对比Si衬底YIG生长层在不同煅烧时间下的XRD图谱,分析了利用缓冲层生长YIG薄膜的相结构形成过程。通过对比石英和Si衬底上YIG薄膜以及GGG衬底液相外延YIG薄膜的拉曼光谱,分析了衬底对薄膜生长的影响机制。搭建了一套显微磁光克尔效应测量系统,该系统使用Labview语言编程,同时集成磁场动作及数据采集功能。利用该系统对Si基YIG薄膜上的光斑聚焦区域进行磁光克尔效应测量,发现Si基YIG薄膜在微米尺度具有明显的磁光克尔效应。