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硅微陀螺是基于微机械加工工艺制作而成的用于测量运动物体角速度的重要惯性器件,被广泛用于航天航空、交通以及民用消费类电子产品等领域,特别是电容检测式硅微陀螺因其高性价比,小体积,易集成等优势成为近期研究热点。对于电容检测式硅微陀螺而言,其敏感电容信号的输出直接决定着它的性能优劣。因此,硅微陀螺敏感电容信号读出电路是高精度陀螺研究的重要内容之一。本文基于硅微陀螺电容检测原理,针对电容检测式硅微陀螺敏感信号读出电路展开研究。在对比分析敏感电容信号提取典型电路结构的性能特性基础上,提出以电荷放大器为核心的差