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激光直写机是制作衍射光学元件的关键设备,离焦检测技术是其中的重要单元技术之一。离焦检测系统为聚焦伺服系统提供聚焦误差信号,使写入光斑经过伺服控制后能够精确聚焦于光刻胶表面,从而保证刻蚀质量。本文基于差动像散法对激光直写系统中的离焦信号进行检测,针对原有采集系统存在的信号采集同步性差、实时性低的问题,提出了基于DSP的同步信号采集技术,由DSP控制CPLD同时触发四路AD采集信号,得到聚焦误差信号与离焦量的对应关系,实现离焦误差信号的多路同步、实时、高精度采集。本文基于TMS320LF