我国氟硅化工产品多以低端、通用产品为主,利润率低,中高端产品主要依靠进口,产品结构性矛盾突出,低端产品过剩,高端产品短缺。与国外相比,我国氟硅行业的自主创新能力薄弱,研发方向单一,应用技术、加工装备落后,下游应用研究少,研发不足导致综合竞争力低下,这也是我国氟硅行业发展过程中存在的最大问题。随着氟硅产业技术快速稳定发展及高新技术的开发需求,我国氟硅行业将具有广阔的市场空间和良好的发展前景。因此,开展全氟硅化合物（SixFy）气体的合成及物性研究对氟硅高端产品的研发具有重要指导意义。全氟硅化合物气体中四氟化硅（SiF4）气体的应用技术最为成熟,且应用范围广泛,而其他氟硅化合物气体的合成也是以四氟化硅气体为原料。因此,本文首先采用氟硅酸在热的浓硫酸中分解来制取四氟化硅气体,并对其进行简单的除杂,然后以四氟化硅气体、单质硅为原料制备二氟化硅（SiF2）气体及全氟硅化合物的混合气体,找出实验室最优合成条件,并对其稳定性进行研究。具体工作如下:对合成的二氟化硅气体进行红外（IR）、质谱（MS）表征,并与相关参考文献进行了对比,确定产物为合成目标产物;对影响产物二氟化硅纯度的因素:反应温度、氟硅酸滴加速率进行了探索,确定实验室最佳反应条件;对合成的全氟硅化合物气体进行了红外、质谱表征;分别在常温与高温加热条件下,对合成的四氟化硅、二氟化硅及一系列全氟硅化合物气体进行稳定性研究,得出结论:（1）四氟化硅在常温或是高温加热条件下都是稳定的;（2）常温下放置,短期内二氟化硅与全氟硅化合物均不稳定,长期放置后,二者趋于稳定的物质类似;（3）高温加热1小时条件下,二氟化硅稳定,全氟硅化合物气体不稳定,分解成单质硅和四氟化硅气体。