【摘 要】
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声表面波(SAW)传感器主要通过SAW延迟线及谐振器对各种物理量进行感应。本文从声表面波传感器基础理论出发,通过分析声表面波技术的发展及声表面波传感器在国内外的研究状况
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声表面波(SAW)传感器主要通过SAW延迟线及谐振器对各种物理量进行感应。本文从声表面波传感器基础理论出发,通过分析声表面波技术的发展及声表面波传感器在国内外的研究状况和趋势,对声表面波材料、声表面波理论和工作模式特性,声表面波器件特性及制作工艺做了必要的分析研究。对声表面波传感器结构仿真模型(δ函数模型、COM耦合模型、脉冲模型和P函数模型)进行了研究,设计分析了延迟型(梳齿型、抽指型)声表面波温度传感器,应用MatLab软件,基于COM数学模型进行了温度频域特性模拟仿真,发现提高声表面波温度传感器的频率特性,是增强声表面波温度传感器灵敏度的关键,完成了对声表面波温度传感器的设计制作。
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