【摘 要】
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硅微加速度传感器是微型机电系统(MEMS)领域里发展最早、最为成功的典范之一.从90年代初开始,部分产品进入批量生产.然而随着科学技术日新月异地迅速发展,特别是生物医学、航
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硅微加速度传感器是微型机电系统(MEMS)领域里发展最早、最为成功的典范之一.从90年代初开始,部分产品进入批量生产.然而随着科学技术日新月异地迅速发展,特别是生物医学、航空航天和国防科学等高新技术的发展对加速度传感器提出了集成化、微型化、智能化、高灵敏、高可靠性等一系列更高的要求,因此各种新原理、新结构的硅微加速度传感器的研究仍是世界各发达国家的研究热点.该文对硅微力平衡电容加速度传感器的相关基础理论和关键制造技术进行了较系统深入的研究,重点研究了这种硅微加速度传感器的结构优化设计、多掩膜和无掩膜腐蚀技术以及信号提取电路,成功地制造出了这种硅微加速度传感器的实验样品.经过测试,其灵敏度达到了3.25V/g,非线性度小于2﹪,零点漂移约为5mg,已超过了预期目标.该课题获得国防科工委跨行业计划研项目资助.
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