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化学气相沉积金刚石(CVD)薄膜工具组合了天然金刚石工具(ND)和聚晶金刚石工具(PCD)二者的优点,除了具有良好的热导率、耐磨性、硬度、化学稳定性、低摩擦系数、低热膨胀系数外,还具有没有解理面、成本低,在尺寸和形状方面灵活多样等优点。目前已经成功地用于加工铝合金、铜合金、纤维增强塑料(GFRP、CFRP)、石墨、陶瓷预烧体、胶合板、木板、塑料等材料,具有巨大的市场潜力。但是由于膜附着性没有得到良好解决及沉积设备昂贵等问题,使得CVD金刚石薄膜工具的商业化进程缓慢,未能完全代替PCD工具及ND工具。