铜电极氧化物薄膜晶体管研究

来源 :华南理工大学 | 被引量 : 34次 | 上传用户:smtsmarsh
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
随着显示技术在尺寸、分辨率和刷新率方面的发展,显示面板需要开发具有低电阻电极的高迁移率薄膜晶体管(TFT)阵列来降低信号传输过程的电阻电容延迟。非晶氧化物半导体材料在平板显示器应用方面,以其高迁移率和均匀性的特点而受到研究者们的广泛关注。此外,铜(Cu)由于其低电阻率,被认为是合适的低电阻电极材料。因此,本论文主要研究具有Cu电极的氧化物TFT。首先,我们研究了非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜的沉积条件和退火温度对TFTs性能的影响。在此基础上,我们成功地制备了具有优异电学性能的a-IGZO T
其他文献
固体聚合物电解质相比于传统电解质具有多种优越的性能,如能量密度高、可抑制锂金属枝晶生长、易于加工成型等,因此一直是固体电解质材料研究的热点。本文首先利用环糊精(CD)与聚氧乙烯(PEO)可以通过自组装形成管道状聚轮烷结构的性质,成功制备了几类具有较高室温电导率的环糊精-聚氧乙烯/锂盐固体电解质,然后利用一系列固体核磁共振方法,研究分析了材料中锂离子和高分子的运动能力,深入探讨了其离子导电机制以及组
学位
为实现经济发展与环境保护的双赢,我国以煤炭为主的能源消费结构亟待转型。甲烷的化工利用也因此而备受关注。其中,甲烷制合成气是甲烷间接转化过程的首要步骤,该类反应的热效应十分强烈,以传统氧化物为载体的催化剂在实际应用中存在严重的热质传递限制,能耗高、效率低。作为有效的化工过程强化技术,结构化催化剂与反应器能够显著优化催化床层的流体力学行为、提高床层内部传质/传热性能,为用于甲烷制合成气的新型高效催化剂
学位
臭氧催化技术能克服臭氧分子选择性氧化不饱和有机物且对有机物矿化不彻底的弊端。目前,非均相臭氧催化剂主要包括金属氧化物和碳基质材料,其表面活性位点的优势调控是研究热点,为设计高效催化剂提供理论指导。此外,传统臭氧反应器采用底部曝气方式,虽然近些年原位反应和微气泡技术从反应和传质两方面提高反应器的运行效果,但基于流体力学强化的臭氧传质及污染物降解缺乏理论基础。通过建立流体力学与传质、反应的构-效关系,
学位
传统微孔分子筛受限于自身的微孔孔道,在参与化学反应(特别是涉及大分子的反应)时表现出较大的传质阻力。近年的研究表明,制备多级孔分子筛是解决传统微孔分子筛这一缺陷最有效的手段之一。软模板法合成多级孔分子筛因其可通过对有机模板剂进行分子结构设计来控制多级孔分子筛的物化性能和拓扑结构而成为研究热点,但目前可用于合成多级孔分子筛的软模板剂种类还十分有限,且合成步骤繁琐、周期长、重复性差。鉴于此,本文创新性
学位
本论文研究了聚四氟乙烯(PTFE)通过双螺杆挤出过程原位成纤增强复合物及其微孔发泡注塑成型。因为聚合物共混是一种低成本,简单易行且对环境友好的高效的聚合物改性的技术方法,并且相比聚合物接枝,交联,共聚等化学改性,聚合物熔融共混改性具有经济,可大批量生产等优点。此外,挤出熔融共混加工过程易控制,产量高,可以获得优异的产品特性和形状。熔融共混体系中,由于分散相具有可变性且呈现出各种不同的结构形态,而且
学位
人类经济和社会高速发展的同时面临着环境污染与能源短缺等问题。以热电(Thermoelectric,TE)材料为核心的热电转换技术能够利用固体内部载流子定向运动实现热能与电能的直接转换,是清洁能源技术的典型代表,受到广泛关注。当前,无机热电材料是热电领域的主要研究对象,因其资源少、毒性大和热导率高等缺点,使研究者开始关注资源丰富、毒性低、热导率低的有机热电材料。导电高分子作为有机热电材料的重要组成部
学位
过渡族金属碳化物薄膜具有高硬度、高熔点、低摩擦系数、耐磨损、耐腐蚀、抗氧化等优异的物理与化学性能,被广泛的应用到航空航天、汽车工业、机械加工、地质钻探等领域作为表面保护涂层,近年来备受关注。在这些应用中其力学与摩擦学性质决定着薄膜材料在实际应用过程中的使用性能和寿命。虽然陶瓷基薄膜材料具有较高的硬度,但是其韧性较差,这限制了它们的使用范围。因此,设计和制备具有高硬度兼具高韧性的薄膜材料显得十分必要
学位
黄锡矿结构的铜锰锡硫(Cu_2MnSnS_4,CMTS)化合物材料光吸收能力强(>10~5cm~(-1)),禁带宽度在最佳的光吸收范围内(1.0~1.5 eV),所包含的组分元素均无毒且丰富。同时,将铜铟镓硒(Cu(In,Ga)Se_2,CIGS)中元素In和Ga分别用元素Mn和Sn取代即可形成CMTS,因此拥有和CIGS类似的结构和性质,这预示着它有被应用于薄膜太阳能电池的可能性。到目前为止,对
学位
在利用遥感技术对地球表面进行监测的研究中,极化SAR图像的分类和变化检测问题一直都是非常关键的研究课题,它们在辨别地面覆盖物和地表变迁的任务当中发挥了重要的作用。一方面,随着遥感技术平台发展的日益成熟,产生了数量越来越多、内容越来越复杂的极化SAR图像,传统算法已经不能满足对其进行高效分析的需求。另一方面,目前深度学习模型在自然图像处理和语音处理等各个领域大显身手,展示了它强大的特征提取能力和数据
学位
聚酰亚胺(PI)具有优异的综合性能,广泛应用于电子电气产业。随着电子器件尺寸不断减小,要求作为电介质的PI具备更低的介电常数。降低PI介电常数的常用方法包括降低PI极化率(引入含氟结构、交联等)、降低PI密度(引入空气等)和引入纳米材料。本文结合上述三种方法,以石墨烯衍生物作为纳米填料,通过改变PI的化学结构和复合膜的制备工艺,在降低PI介电常数的同时保持或提高PI优异的力学性能等。将含戊二烯酮结
学位