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永磁同步直线电机(PMSLM),特别是具有双次级结构的PMSLM凭借其高速度、高精确度、大推力、零法向吸力等诸多优点,被广泛地应用到超精密机床的伺服系统,推动了生产制造等技术的不断发展,受到了国内外许多专家学者的高度重视。然而,由齿槽效应和边端效应所引起的定位力是影响超精密机床定位精度及运动精度的重要因素,定位力的存在制约了PMSLM的发展。因此,本文将双次级结构的PMSLM作为研究对象,从电机的本体结构入手,对PMSLM的定位力进行了分析,并对定位力的抑制方法进行了研究,主要研究内容如下：